美國進(jìn)口 EdgeTech 冷鏡露點(diǎn)儀 DewMaster 依托冷鏡式基礎(chǔ)測量原理搭建監(jiān)測體系，設(shè)備擁有完整的溯源校準(zhǔn)體系，配套多規(guī)格傳感器模組，可覆蓋寬范圍露點(diǎn)、霜點(diǎn)測量區(qū)間，能夠捕捉氣體中細(xì)微水汽含量變化，穩(wěn)定輸出 ppmv 級(jí)測量數(shù)據(jù)，為產(chǎn)線除濕、氣體純化系統(tǒng)提供可靠調(diào)控依據(jù)。常規(guī)鋁制傳感器可適配氮?dú)狻鍤膺@類中性高純氣體，而配套的 X3 不銹鋼耐腐蝕傳感器則針對(duì)含鹵素、酸性組分的腐蝕性特種氣體設(shè)計(jì)，接氣部件采用 316 不銹鋼材質(zhì)，長期通流腐蝕性介質(zhì)也不易出現(xiàn)銹蝕、傳感偏移問題，拓寬了美國進(jìn)口 EdgeTech 冷鏡露點(diǎn)儀 DewMaster 的應(yīng)用覆蓋場景。

水汽超標(biāo)帶來的負(fù)面影響貫穿整條特氣產(chǎn)線：輸送管道內(nèi)持續(xù)存在微量水分，會(huì)與金屬內(nèi)壁發(fā)生反應(yīng)，逐步產(chǎn)生腐蝕斑點(diǎn)，長期運(yùn)行后易出現(xiàn)管路滲漏、閥門堵塞問題，增加設(shè)備維護(hù)頻次與更換成本；流入半導(dǎo)體工藝腔體后，水汽會(huì)與硅基底、金屬線路發(fā)生反應(yīng)，在晶圓表面形成氧化雜質(zhì)，造成薄膜沉積缺陷、蝕刻不均，直接影響芯片成品狀態(tài)。依靠美國進(jìn)口 EdgeTech 冷鏡露點(diǎn)儀 DewMaster 開展在線不間斷監(jiān)測，可實(shí)時(shí)捕捉露點(diǎn)異常波動(dòng)，聯(lián)動(dòng)控制系統(tǒng)及時(shí)調(diào)整純化設(shè)備運(yùn)行參數(shù)，把氣體水汽穩(wěn)定控制在工藝允許的 ppmv 區(qū)間內(nèi)，從源頭降低管道銹蝕、半導(dǎo)體晶圓污染的發(fā)生概率。

美國進(jìn)口 EdgeTech 冷鏡露點(diǎn)儀 DewMaster 支持多路信號(hào)輸出，可對(duì)接工廠 DCS 控制系統(tǒng)，同時(shí)搭載雙路報(bào)警繼電器，露點(diǎn)偏離設(shè)定區(qū)間時(shí)自動(dòng)發(fā)出提醒；傳感器支持遠(yuǎn)程安裝，最遠(yuǎn)可延伸 76 米，適配特氣充裝車間、晶圓潔凈車間、集中供氣站等不同布局場地。整機(jī)提供臺(tái)式、機(jī)架、NEMA 4X 防護(hù)外殼多種安裝方案，輔助液體冷卻結(jié)構(gòu)進(jìn)一步拓展低溫霜點(diǎn)測量能力，面對(duì)低露點(diǎn)腐蝕性電子特氣工況，搭配 X3 不銹鋼耐腐蝕傳感器的美國進(jìn)口 EdgeTech 冷鏡露點(diǎn)儀 DewMaster，可實(shí)現(xiàn)長期連續(xù)穩(wěn)定監(jiān)測，為高純氮?dú)狻鍤狻⒑馀c各類電子特氣的水分管控搭建完整可靠的監(jiān)測方案。