半導(dǎo)體晶圓加工、芯片封裝環(huán)節(jié)高度依賴高純氮氣、氬氣作為吹掃保護氣體，行業(yè)普遍要求管路內(nèi)氣體露點穩(wěn)定維持在 - 70℃以下。氣體中留存的微量水分，會在高溫工藝環(huán)境下引發(fā)晶圓表面氧化，還會造成芯片內(nèi)部電路短路、封裝膠體分層等問題，直接拉高車間產(chǎn)品不良率。特種氣體供氣站多屬于易燃易爆管控區(qū)域，常規(guī)檢測設(shè)備存在使用限制，英國 SHAW 肖氏進口 SADP 便攜式露點儀憑借合規(guī)防爆配置與穩(wěn)定檢測能力，成為半導(dǎo)體廠區(qū)氣源露點校驗的常用設(shè)備。
英國 SHAW 肖氏進口 SADP 便攜式露點儀持有 ATEX、IECEx 本質(zhì)安全相關(guān)認證，能夠直接進入特種氣體供氣站這類危險區(qū)域開展檢測作業(yè)，無需額外加裝配套防護配件。工作人員可攜帶英國 SHAW 肖氏進口 SADP 便攜式露點儀，沿著氮氣、氬氣輸送管網(wǎng)逐段取樣，分別檢測儲氣出口、管路分岔節(jié)點、晶圓蝕刻工位、封裝吹掃工位的氣體露點，快速核驗整條供氣線路的干燥狀態(tài)。
英國 SHAW 肖氏進口 SADP 便攜式露點儀搭載氧化鋁傳感元件，可選配低露點量程傳感模塊，可覆蓋 - 100℃至 0℃的測量區(qū)間，適配半導(dǎo)體車間≤-70℃的嚴苛管控標(biāo)準(zhǔn)。設(shè)備自帶干燥劑干燥室結(jié)構(gòu)，檢測前可隔絕外界濕氣、凈化傳感器腔體，避免環(huán)境水汽干擾檢測數(shù)值，開機短時間內(nèi)就能獲取穩(wěn)定讀數(shù)，適合車間多管路、多點位的流動檢測工作。
若檢測過程中，英國 SHAW 肖氏進口 SADP 便攜式露點儀讀出的數(shù)值高于 - 70℃，說明氣源干燥單元吸附材料趨于飽和，或是輸送管路存在微滲漏問題。運維人員可依據(jù)英國 SHAW 肖氏進口 SADP 便攜式露點儀記錄的分段數(shù)據(jù)，精準(zhǔn)定位異常管段，及時更換干燥吸附劑、修復(fù)管路滲漏點，將氣體水分含量控制在工藝允許范圍，減少芯片氧化、分層等不良品產(chǎn)出。
英國 SHAW 肖氏進口 SADP 便攜式露點儀支持現(xiàn)場自動校準(zhǔn)，巡檢過程中無需額外標(biāo)準(zhǔn)氣源即可完成設(shè)備校驗，內(nèi)置大容量電池可長時間連續(xù)測量，配套便攜防護外殼便于在潔凈車間、供氣站之間轉(zhuǎn)運。儀器附帶可溯源校準(zhǔn)證書，檢測數(shù)據(jù)可留存歸檔，方便車間完成生產(chǎn)品質(zhì)管控記錄。
常態(tài)化使用英國 SHAW 肖氏進口 SADP 便攜式露點儀完成高純吹掃氣體露點檢測，可持續(xù)穩(wěn)定特種氣體干燥指標(biāo)，減少水分帶來的各類芯片缺陷，為半導(dǎo)體晶圓、封裝工序平穩(wěn)生產(chǎn)提供數(shù)據(jù)支撐。
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