傳統(tǒng)電容式露點(diǎn)傳感器長(zhǎng)期使用易產(chǎn)生溫漂，深低溫高純氮?dú)狻鍤鉁y(cè)量誤差大，檢測(cè)數(shù)據(jù)無(wú)法用于車間合規(guī)存檔，而美國(guó) Edgetech 高精度冷鏡露點(diǎn)儀 PDM75采用無(wú)漂移主法冷鏡傳感器，測(cè)量精度可達(dá) ±0.2℃露點(diǎn)，量程覆蓋 - 70℃~+70℃，既能監(jiān)測(cè)潔凈室送風(fēng)露點(diǎn)，也可精準(zhǔn)檢測(cè)刻蝕、沉積工序高純特氣 - 70℃極限低露點(diǎn)，wan全匹配先進(jìn)制程無(wú)塵車間管控閾值。

在無(wú)塵車間日常多點(diǎn)巡檢工作中，美國(guó) Edgetech 高精度冷鏡露點(diǎn)儀 PDM75配備抗沖擊便攜防護(hù)箱，機(jī)身輕便便于潔凈區(qū)轉(zhuǎn)運(yùn)，1/4 英寸不銹鋼采樣接頭適配 FFU 送風(fēng)、制氮機(jī)組、機(jī)臺(tái)吹掃管路、晶圓存儲(chǔ)艙多路采樣。檢測(cè)人員攜帶美國(guó) Edgetech 高精度冷鏡露點(diǎn)儀 PDM75，可逐區(qū)監(jiān)測(cè)光刻間、刻蝕區(qū)、封裝車間潔凈空氣與工藝保護(hù)氣露點(diǎn)；設(shè)備 8 線背光液晶屏可同步顯示露點(diǎn)、樣氣壓力、環(huán)境溫度三項(xiàng)核心參數(shù)，實(shí)時(shí)判定干燥純化設(shè)備是否失效、潔凈風(fēng)管是否滲漏進(jìn)水。儀器搭載自動(dòng)光學(xué)污染清除功能，即便氣體攜帶微量光刻粉塵，美國(guó) Edgetech 高精度冷鏡露點(diǎn)儀 PDM75仍能保持長(zhǎng)期穩(wěn)定讀數(shù)，大幅降低高等級(jí)無(wú)塵區(qū)內(nèi)儀器清潔維護(hù)頻次。

晶圓廠開展無(wú)塵車間環(huán)境系統(tǒng)驗(yàn)證、新制氮設(shè)備驗(yàn)收時(shí)，美國(guó) Edgetech 高精度冷鏡露點(diǎn)儀 PDM75附帶 NIST 可追溯校準(zhǔn)證書，擁有 ISO/IEC 17025 認(rèn)證校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室資質(zhì)，檢測(cè)報(bào)告可直接用于 SEMI 合規(guī)核查、工廠體系歸檔。驗(yàn)證階段需要長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)采集露點(diǎn)曲線，美國(guó) Edgetech 高精度冷鏡露點(diǎn)儀 PDM75支持 RS232 串口與藍(lán)牙遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)采集，自動(dòng)存儲(chǔ)全程監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)，精準(zhǔn)判定分子篩純化效率、干燥機(jī)組除水性能是否達(dá)標(biāo)。一旦潔凈空氣或工藝特氣露點(diǎn)超標(biāo)，依托美國(guó) Edgetech 高精度冷鏡露點(diǎn)儀 PDM75多點(diǎn)對(duì)比檢測(cè)，可快速定位濾芯破損、管道泄漏、冷卻系統(tǒng)故障等隱患。

美國(guó) Edgetech 高精度冷鏡露點(diǎn)儀 PDM75全氣路采用 316 不銹鋼、PTFE、氟橡膠潔凈耐腐蝕材質(zhì)，無(wú)有機(jī)析出污染風(fēng)險(xiǎn)，適配半導(dǎo)體高純工藝氣體工況；可選配內(nèi)置真空泵實(shí)現(xiàn)負(fù)壓腔體采樣，遠(yuǎn)程分體傳感器套件可伸入密閉晶圓腔、真空設(shè)備內(nèi)部完成檢測(cè)。無(wú)論是成熟制程封裝車間、28nm 及以下先進(jìn)光刻無(wú)塵室的常態(tài)化巡檢，還是年度潔凈環(huán)境合規(guī)驗(yàn)證，美國(guó) Edgetech 高精度冷鏡露點(diǎn)儀 PDM75以溯源級(jí)精度、便攜低維護(hù)、全工況適配的優(yōu)勢(shì)，牢牢守住無(wú)塵車間濕度管控防線，從源頭規(guī)避水汽引發(fā)的芯片缺陷，穩(wěn)定提升晶圓生產(chǎn)良品率