半導(dǎo)體芯片制造、光伏電池生產(chǎn)對高純氮?dú)狻鍤獾缺Wo(hù)氣純度要求嚴(yán)苛,微量水汽便是生產(chǎn)隱形污染源。水汽接觸高溫晶圓、硅片會快速發(fā)生氧化反應(yīng),生成氧化缺陷層,造成芯片電路漏電、光伏電池片轉(zhuǎn)換效率下降,批量產(chǎn)品出現(xiàn)瑕疵報廢。為精準(zhǔn)管控高純保護(hù)氣水分、規(guī)避氧化損耗,行業(yè)普遍采用英國 SHAW 肖氏便攜式露點(diǎn)儀 SADP 開展全流程氣體露點(diǎn)抽檢。

半導(dǎo)體產(chǎn)線涵蓋晶圓沉積、刻蝕、光刻、封裝多道工序,光伏車間包含硅料拉晶、電池鍍膜、組件封裝等環(huán)節(jié),各工序保護(hù)氣管路、儲氣鋼瓶、干燥純化設(shè)備均需頻繁巡檢。傳統(tǒng)檢測設(shè)備預(yù)熱久、易受環(huán)境潮氣干擾,測量數(shù)據(jù)偏差大,而英國 SHAW 肖氏便攜式露點(diǎn)儀 SADP 搭載專屬干燥劑除濕頭,閑置時傳感器自動隔絕外界空氣保持干燥,抵達(dá)任意檢測點(diǎn)位無需長時間等待,快速讀取穩(wěn)定露點(diǎn)數(shù)值,大幅提升高純保護(hù)氣巡檢效率。
把控高純保護(hù)氣露點(diǎn)、阻斷水汽污染,英國 SHAW 肖氏便攜式露點(diǎn)儀 SADP 擁有適配行業(yè)的專業(yè)測量能力。儀器配備多量程氧化鋁傳感探頭,光伏與半導(dǎo)體常用 B 型、P 型傳感器,測量區(qū)間覆蓋 - 100℃~+20℃露點(diǎn),可精準(zhǔn)捕捉 ppb 級微量水分波動,分辨率 0.1℃、重復(fù)性優(yōu)于 ±0.5℃,運(yùn)維人員使用英國 SHAW 肖氏便攜式露點(diǎn)儀 SADP 對比純化設(shè)備進(jìn)出口露點(diǎn),能快速判斷分子篩純化裝置是否失效,從氣源端降低水汽含量,從根源避免晶圓、電池片氧化瑕疵。
潔凈車間多點(diǎn)位流動檢測場景下,英國 SHAW 肖氏便攜式露點(diǎn)儀 SADP 便攜耐用優(yōu)勢顯著。整機(jī)體積小巧,標(biāo)配 2 米 PTFE 潔凈取樣軟管與皮質(zhì)便攜肩帶,單人可穿梭光伏拉晶爐、半導(dǎo)體刻蝕腔體、特氣管道各點(diǎn)位;六節(jié) C 型電池供電,連續(xù)運(yùn)行可達(dá) 150 小時,全天不間斷巡檢無需頻繁更換電源。英國 SHAW 肖氏便攜式露點(diǎn)儀 SADP 自帶現(xiàn)場自動校準(zhǔn)功能,無需配套標(biāo)準(zhǔn)氣源,操作人員簡單調(diào)節(jié)面板電位器即可完成校驗,檢測數(shù)據(jù)可溯源國際濕度標(biāo)準(zhǔn),滿足半導(dǎo)體、光伏工廠生產(chǎn)臺賬與客戶審核要求。
同時英國 SHAW 肖氏便攜式露點(diǎn)儀 SADP 具備 ATEX、IECEx 本質(zhì)安全認(rèn)證,產(chǎn)區(qū)內(nèi)易燃易爆特種氣體環(huán)境也可安全使用,316 不銹鋼過濾探頭不會給高純氣體引入顆粒雜質(zhì)。長期依靠英國 SHAW 肖氏便攜式露點(diǎn)儀 SADP 常態(tài)化監(jiān)測高純保護(hù)氣露點(diǎn),穩(wěn)定管控氣體水分指標(biāo),有效減少晶圓氧化缺陷、光伏電池片不良品產(chǎn)出,降低原料損耗與返工成本,保障半導(dǎo)體、光伏生產(chǎn)線持續(xù)穩(wěn)定高效運(yùn)轉(zhuǎn)