半導體與光伏制造高度依賴氮氣、氬氣、硅烷等高純工藝氣體,氣體內微量水汽是隱形生產隱患。水汽接觸晶圓會快速生成氧化層,造成光刻圖案偏移、薄膜針孔缺陷;光伏鍍膜工序中水分會破壞涂層附著力,直接拉低芯片、電池片良率,給企業帶來高額報廢損失。想要精準管控特氣水分、穩定產品良率,英國 SHAW 肖氏 SDHmini 便攜式露點儀是產線巡檢、氣源抽檢的核心檢測設備。

高純氣體露點管控精度要求ji高,普通露點儀易受環境潮氣干擾,數據失真無法精準判斷水分超標問題,而英國 SHAW 肖氏 SDHmini 便攜式露點儀搭載肖氏專li干燥艙結構,兩次檢測間隔用干燥劑wan全隔離傳感器,隔絕潔凈室外界濕氣干擾,每次檢測數據穩定可靠。英國 SHAW 肖氏 SDHmini 便攜式露點儀配備多量程氧化鋁傳感器,銀色、紫色型號zui。低可測 - 100℃超低露點,分辨率 0.1℃,準確度 ±2℃,可精準捕捉氮氣、氬氣、硅烷中 ppb 級微量水分變化,快速定位供氣管道、純化裝置、鋼瓶氣源的濕度異常點。
半導體、光伏產線停機成本高昂,傳統露點儀校準流程繁瑣,需配套標準氣源占用大量生產時間,英國 SHAW 肖氏 SDHmini 便攜式露點儀自帶 AutoCal 自動校準功能,無需專業設備與技術人員,現場簡單操作即可完成校準,大幅縮短檢測停機時長,降低運維成本。巡檢人員攜帶英國 SHAW 肖氏 SDHmini 便攜式露點儀,可穿梭于特氣房、刻蝕腔體、鍍膜車間、氣瓶倉庫多點抽檢,設備自重不足 1.75kg,機身小巧輕便,適配潔凈室移動檢測需求。
面對車間粉塵、微量腐蝕性工藝氣體,英國 SHAW 肖氏 SDHmini 便攜式露點儀防護等級達 IP66,配備 316 不銹鋼 50μm 燒結過濾器,阻擋顆粒雜質保護傳感器;內置鋰電池支持 150 小時連續工作,全天多點巡檢無需頻繁充電。儀器可存儲 30 萬組檢測數據,搭配 USB、藍牙傳輸功能,使用英國 SHAW 肖氏 SDHmini 便攜式露點儀采集的露點數據可直接上傳電腦,生成長期趨勢報表,方便工程師追溯高純氣體水分波動規律,提前預判干燥純化設備失效。
同時英國 SHAW 肖氏 SDHmini 便攜式露點儀搭載中文操作界面,ppm (v)、℃等多單位自由切換,一線操作人員簡單培訓即可上手。長期使用英國 SHAW 肖氏 SDHmini 便攜式露點儀常態化監測各類高純特氣露點,能從源頭遏制水汽引發的晶圓氧化、薄膜缺陷問題,持續穩定芯片與光伏電池良品率,減少原材料報廢損耗,為半導體、光伏企業提質增效提供可靠保障